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Optical end point detection of etched YBCO films

Dolata, Ralf; Fischer, M.; Jutzi, Wilhelm



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 135892
Erscheinungsvermerk Physica C 191 (1992) S. 525-529.
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