Optical end point detection of etched YBCO films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0921-4534, 1873-2143 KITopen-ID: 135892 |
| Erschienen in | Physica / C |
| Verlag | North-Holland Publishing |
| Band | 191 |
| Seiten | 525-529 |
| Erscheinungsvermerk | Physica C 191 (1992) S. 525-529. |
| Nachgewiesen in | Dimensions |