Ionized cluster beam source characteristics for high-intensity cluster deposition and erosion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 13595 |
| Erscheinungsvermerk | In: Laser and ion beam modification of materials. Ed.: I. Yamada. Amsterdam 1994. S. 107-110. (Advanced materials '93. IV.)(Transactions of the Materials Research Society of Japan. 17.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S164 |