KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Ionized cluster beam source characteristics for high-intensity cluster deposition and erosion

Gspann, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 13595
Erscheinungsvermerk In: Laser and ion beam modification of materials. Ed.: I. Yamada. Amsterdam 1994. S. 107-110. (Advanced materials '93. IV.)(Transactions of the Materials Research Society of Japan. 17.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S164
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page