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Mikro-/Makroankopplungen

Kohl, M.; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 13695
Erscheinungsvermerk In: Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Teltow : VDI-VDE- Technologiezentrum Informationstechnik 1994. S. 153-162. (Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik. 19.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S165
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