Mikro-/Makroankopplungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 13695 |
| Erscheinungsvermerk | In: Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Teltow : VDI-VDE- Technologiezentrum Informationstechnik 1994. S. 153-162. (Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik. 19.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S165 |