| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 13795 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 5 |
| Seiten | 169-71 |
| Erscheinungsvermerk | J. of micromech. and microengng. 5 (1995) S. 169-171. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S166 |