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A microvalve system fabricated by thermoplastic molding

Fahrenberg, Jens; Bier, Wilhelm; Maas, D.; Menz, Wolfgang; Ruprecht, Robert; Schomburg, Werner Karl



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 13795
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 5
Seiten 169-71
Erscheinungsvermerk J. of micromech. and microengng. 5 (1995) S. 169-171.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S166
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