Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 13795 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 5 |
Seiten | 169-71 |
Erscheinungsvermerk | J. of micromech. and microengng. 5 (1995) S. 169-171. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S166 |