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LIGA micropump for gases and liquids

Rapp, Richard; Schomburg, Werner Karl; Maas, D.; Schulz, J.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 13895
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators
Band 40
Heft 1
Seiten 57-61
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 40 (1994) S. 57-61.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S168
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