LIGA micropump for gases and liquids
Rapp, Richard 1; Schomburg, Werner Karl 1; Maas, D. 1; Schulz, J.
1; Stark, W. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Stark, W. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 13895 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 40 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 57-61 |
| Erscheinungsvermerk | Sensors and actuators A 40 (1994) S. 57-61. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S168 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |