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LIGA micropump for gases and liquids

Rapp, Richard 1; Schomburg, Werner Karl 1; Maas, D. 1; Schulz, J. 1; Stark, W. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/0924-4247(94)85030-5
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Zitationen: 53
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Zitationen: 49
Dimensions
Zitationen: 59
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen-ID: 13895
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators
Verlag Elsevier
Band 40
Heft 1
Seiten 57-61
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 40 (1994) S. 57-61.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S168
Nachgewiesen in Dimensions
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