Acoustic emission and precision force- displacement observations of spherical intentations into TiN films on silicon
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau – Institut für Zuverlässigkeit und Schadenskunde im Maschinenbau (IZBS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 139894 |
| Erscheinungsvermerk | Surface and coatings technol. 68/69 (1994) S. 598-602. |