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Acoustic emission and precision force- displacement observations of spherical intentations into TiN films on silicon

Shiwa, M.; Weppelmann, Edgar R.; Bendeli, A.; Swain, M.V.; Munz, Dietrich; Kishi, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Zuverlässigkeit und Schadenskunde im Maschinenbau (IZBS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 139894
Erscheinungsvermerk Surface and coatings technol. 68/69 (1994) S. 598-602.
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