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Membranpumpe für die Mikrosystemtechnik - Leistungsdaten und mögliche Anwendung

Schomburg, W.K.; Bacher, W.; Menz, W.; Rapp, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 140036974
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Schlick, G.H. [Hrsg.] Handbuch Fluidtechnik Essen : Vulkan-Verl., 1995
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