Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buch |
Publikationsjahr | 1997 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 140041786 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 2. erw.Aufl. Weinheim : VCH, 1997 |