Hot embossing : theory and technology of microreplication
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8155-1579-1 KITopen-ID: 140076722 |
| HGF-Programm | 43.01.01 (POF II, LK 01) Lithographie |
| Erscheinungsvermerk | Oxford : William Andrew, 2009 (Micro- and Nanotechnologies ; 7) |