Chemical vapour deposition - A review of 25 years experience
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Sonderforschungsbereich 167 (SFB 167) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 143091 |
| Erscheinungsvermerk | J. de phys. Sec. 4, Vol. 1,2 (1991) S. 509- 537. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 92S89 |