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Strategy to optimize the development, use, and dimension of test structures to control defect appearance in backend process steps

Hess, Christopher



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 143194
Erscheinungsvermerk In: Proceedings. Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, ASMC 94, Boston, USA 1994. S. 282-289.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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