Strategy to optimize the development, use, and dimension of test structures to control defect appearance in backend process steps
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 143194 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, ASMC 94, Boston, USA 1994. S. 282-289. |