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Drop in process control checkerboard test structure for efficient online process characterization and defect problem debugging

Hess, Christopher; Weiland, Larg



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 143394
Erscheinungsvermerk In: Proceedings. International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, San Diego, USA 1994. S. 152-159.
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