Drop in process control checkerboard test structure for efficient online process characterization and defect problem debugging
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Informatik – Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 143394 |
| Erscheinungsvermerk | In: Proceedings. International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS, San Diego, USA 1994. S. 152-159. |