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DOI: 10.5445/IR/143692

Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik

Goettert, Jost; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator URN: urn:nbn:de:swb:90-AAA1436920
KITopen ID: 143692
Reportnummer: KFK-5153
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Serie KfK-Berichte ; 5153
Abschlussart Dissertation
Prüfungsdaten Diss. v. 20.11.1992
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