Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA1436920 KITopen-ID: 143692 Reportnummer: KFK-5153 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Serie | KfK-Berichte ; 5153 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 20.11.1992 |