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Grundlagen und Anwendungsmoeglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik

Goettert, Jost; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 143692
Reportnummer: KFK-5153
HGF-Programm 41.01.05; LK 01
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 20.11.1992.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 20.11.1992
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