Chemische Gasphasenabscheidung von Hafniumcarbid und Hafniumnitrid
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 14496 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Erscheinungsvermerk | Egelsbach 1996. (Deutsche Hochschulschriften. 1093.) Fak. f. Chemie, Diss. v. 19.10.1995. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Chemie (Fak. für Chemie) |
| Institut | Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 19.10.1995 |