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Chemische Gasphasenabscheidung von Hafniumcarbid und Hafniumnitrid

Wormer, Oliver Gerd



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 14496
Erscheinungsvermerk Egelsbach 1996. (Deutsche Hochschulschriften. 1093.) Fak. f. Chemie, Diss. v. 19.10.1995.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Chemie (Fak. für Chemie)
Institut Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Prüfungsdaten Diss. v. 19.10.1995
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