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Modeling of real defect outlines and defect parameter extraction using a checkerboard test structure to localize defects

Hess, Christopher; Ströle, Albrecht



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Rechnerentwurf und Fehlertoleranz (IRF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1994
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 145294
Erscheinungsvermerk IEEE trans. on semiconductor manufacturing 7 (1994) S. 284-292.
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