| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Theoretische Elektrotechnik und Meßtechnik (Inst. f. Theoret. Elektrotech. u. Meßtech.) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 147791 |
| Erscheinungsvermerk | In: Mikroelektronik. Vortr. d. GME- Fachtagung, Baden-Baden 1991. Berlin 1991. S. 303-308. (GME-Fachbericht. 8.) |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 92S133 |