Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Theoretische Elektrotechnik und Meßtechnik (Inst. f. Theoret. Elektrotech. u. Meßtech.) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 148291 |
Erscheinungsvermerk | In: Mikroelektronik. Vortr. d. GME- Fachtagung, Baden-Baden 1991. Berlin 1991. S. 297-302. (GME-Fachbericht. 8.) |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 92S137 |