| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Kernphysik (IAK) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1972 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150006055 |
| Seiten | 465-76 |
| Erscheinungsvermerk | 3. International Conf. on Ion Implantation, New York, December 11-14, 1972 Crowder, B.L.[Hrsg.]: Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials. New York, N.Y.: Plenum Publ.Corp. 1973. |