Institut fuer Mikrostrukturtechnik des Kernforschungszentrum Karlsruhe und der Universitaet Karlsruhe
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150035725 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 423-24 |
| Erscheinungsvermerk | Deutsche Gesellschaft fuer Chemisches Apparatewesen [Hrsg.] Achema-Jahrbuch 1994. - Bd. 1. - |