Das LIGA-Verfahren, eine Methode zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptischen Komponenten für Mikrosysteme. (Teil 2)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1994 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150036878 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 199-220 |
| Erscheinungsvermerk | Jahrbuch für Optik und Feinmechanik 1995 Berlin : Schiele und Schön, 1994 |