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Das LIGA-Verfahren, eine Methode zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptischen Komponenten für Mikrosysteme. (Teil 2)

Menz, W.; Mohr, J.; Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 150036878
HGF-Programm 41.03.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 199-220
Erscheinungsvermerk Jahrbuch für Optik und Feinmechanik 1995 Berlin : Schiele und Schön, 1994
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