KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

High aspect ratio processing

Friedrich, C. R.; Warrington, R.; Bacher, W.; Bauer, W.; Coane, P. J.; Göttert, J.; Hanemann, T.; Hausselt, J.; Heckele, M.; Knitter, R. ORCID iD icon; Mohr, J.; Piotter, V.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Ruprecht, R.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 150043092
HGF-Programm 41.02.03 (Vor POF, LK 01)
Seiten 301-77
Erscheinungsvermerk Rai-Choudhury, P. [Hrsg.] Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, 1997 Vol.2: Micromachining and Microfabrication
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page