High aspect ratio processing
Friedrich, C. R.; Warrington, R.; Bacher, W.; Bauer, W.
; Coane, P. J.; Göttert, J.; Hanemann, T.; Hausselt, J.; Heckele, M.; Knitter, R.
; Mohr, J.; Piotter, V.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Ruprecht, R.
; Coane, P. J.; Göttert, J.; Hanemann, T.; Hausselt, J.; Heckele, M.; Knitter, R.
; Mohr, J.; Piotter, V.; Ritzhaupt-Kleissl, H. J.; Ruprecht, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150043092 |
| HGF-Programm | 41.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 301-77 |
| Erscheinungsvermerk | Rai-Choudhury, P. [Hrsg.] Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, 1997 Vol.2: Micromachining and Microfabrication |