| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150049752 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 103-19 |
| Erscheinungsvermerk | Jahrbuch Oberflächentechnik Isernhagen : Giesel-Verl. Bd. 57 (2001) |