Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 150049752 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 103-19 |
Erscheinungsvermerk | Jahrbuch Oberflächentechnik Isernhagen : Giesel-Verl. Bd. 57 (2001) |