| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150054383 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 144-74 |
| Erscheinungsvermerk | Baltes, H. [Hrsg.] Sensors Update : Sensors Technology, Applications, Markets Vol.12 Weinheim : Wiley-VCH, 2003 |