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Modular fabrication concept for LIGA-based microoptics

Mohr, J.; Last, A.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-387-20980-8
KITopen ID: 150058582
HGF-Programm 41.04.02; LK 01
Seiten 115-26
Erscheinungsvermerk Brenner, K.H.[Hrsg.] Microoptics. Berlin [u.a.] : Springer, 2004 (Springer Series in Optical Sciences; Vol.97)
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