Modular fabrication concept for LIGA-based microoptics

Mohr, J.; Last, A.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 0-387-20980-8 KITopen-ID: 150058582
HGF-Programm	41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik
Seiten	115-26
Erscheinungsvermerk	Brenner, K.H.[Hrsg.] Microoptics. Berlin [u.a.] : Springer, 2004 (Springer Series in Optical Sciences; Vol.97)