Modular fabrication concept for LIGA-based microoptics
Mohr, J.; Last, A.
; Wallrabe, U.
; Wallrabe, U.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-387-20980-8 KITopen-ID: 150058582 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik |
| Seiten | 115-26 |
| Erscheinungsvermerk | Brenner, K.H.[Hrsg.] Microoptics. Berlin [u.a.] : Springer, 2004 (Springer Series in Optical Sciences; Vol.97) |