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Research activities in the LIGA laboratory at ANKA

Mohr, J.; Achenbach, S.; Börner, M.; Pantenburg, F.J.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 150058751
HGF-Programm 55.51.04 (POF I, LK 01)
Seiten 141-54
Erscheinungsvermerk ANKA - Annual Report 2004 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM
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