Research activities in the LIGA laboratory at ANKA
Mohr, J.; Achenbach, S.; Börner, M.; Pantenburg, F. J.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150058751 |
| HGF-Programm | 55.51.04 (POF I, LK 01) |
| Seiten | 141-54 |
| Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual Report 2004 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM |