Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 3-934698-24-7 KITopen-ID: 150059116 |
HGF-Programm | 41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate |
Seiten | 92-95 |
Erscheinungsvermerk | P&A Kompendium 2004/2005 : Das Referenzbuch für Prozesstechnik und Automation München : publish-industry Verl.GmbH, 2004 Auch online verfügbar |
Externe Relationen | Siehe auch |