| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-934698-24-7 KITopen-ID: 150059116 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate |
| Seiten | 92-95 |
| Erscheinungsvermerk | P&A Kompendium 2004/2005 : Das Referenzbuch für Prozesstechnik und Automation München : publish-industry Verl.GmbH, 2004 Auch online verfügbar |
| Externe Relationen | Siehe auch |