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Measurements of stresses in thin metal films and their relaxation

Kraft, O.; Gao, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoff- und Biomechanik (IMF2) (IMF2)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 150060091
HGF-Programm 41.02.03 (POF I, LK 01) Zuverlässigkeit, Werkstoffprüfung
Seiten 365-404
Erscheinungsvermerk Gupta, D. [Hrsg.] Diffusion Processes in Advanced Technological Materials Norwich, N.Y. : William Andrew Publ., 2005
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