Microelectroforming of metals
Schanz, G.; Bade, K.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-527-31493-8 KITopen-ID: 150061454 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung |
| Seiten | 395-420 |
| Erscheinungsvermerk | Microengineering of Metals and Ceramics Part II: Special Replication Techniques, Automation and Properties Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2005 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.4) |