Lithographic fabrication of mold inserts
Guttmann, M.; Schulz, J.
; Saile, V.
; Saile, V.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-527-31208-0 KITopen-ID: 150061714 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 187-219 |
| Erscheinungsvermerk | Microengineering of Metals and Ceramics Part I: Design, Tooling and Injection Molding Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2005 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.3) |