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Lithographic fabrication of mold inserts

Guttmann, M.; Schulz, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-527-31208-0
KITopen ID: 150061714
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 187-219
Erscheinungsvermerk Microengineering of Metals and Ceramics Part I: Design, Tooling and Injection Molding Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2005 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.3)
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