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Research activities in the LIGA laboratory at ANKA

Börner, M.; Achenbach, S.; Arendt, M.; Jakobs, P.; Klymyshyn, D.; Mappes, T.; Mohr, J.; Reznikova, E.; Nazmov, V.; Pantenburg, F.J.; Saile, V.; Thelen, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 150062296
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 74-80
Erscheinungsvermerk ANKA - Annual Report 2005 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM
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