Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 150062296 |
HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
Seiten | 74-80 |
Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual Report 2005 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM |