Research activities in the LIGA laboratory at ANKA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150062296 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Seiten | 74-80 |
| Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual Report 2005 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM |