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Characterization of lithographic CRL developed at ANKA synchrotron radiation facilty

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Simon, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 150062311
HGF-Programm 41.04.02; LK 01
Seiten 122-23
Erscheinungsvermerk ANKA - Annual Report 2005 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM
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