Characterization of lithographic CRL developed at ANKA synchrotron radiation facilty
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Synchrotronstrahlung (ISS) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150062311 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (POF I, LK 01) Sensorik |
| Seiten | 122-23 |
| Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual Report 2005 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM |