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Microfabrication in ceramics and glass

Knitter, R.; Dietrich, T.R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-527-31246-3
KITopen ID: 150063822
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 353-85
Erscheinungsvermerk Kockmann, N. [Hrsg.] Micro Process Engineering : Fundamentals, Devices, Fabrication and Applications Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2006 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.5)
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