Microfabrication in ceramics and glass
Knitter, R.
; Dietrich, T. R.
; Dietrich, T. R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-527-31246-3 KITopen-ID: 150063822 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 353-85 |
| Erscheinungsvermerk | Kockmann, N. [Hrsg.] Micro Process Engineering : Fundamentals, Devices, Fabrication and Applications Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2006 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.5) |