LIGA technology for R&D and industrial applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-8155-1497-2 KITopen-ID: 150064648 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Seiten | 853-99 |
| Erscheinungsvermerk | Korvink, J.G. [Hrsg.] MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications Norwich, N.Y. [u.a.] : William Andrew Publ. [u.a.], 2006 |