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LIGA technology for R&D and industrial applications

Wallrabe, U.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-8155-1497-2
KITopen-ID: 150064648
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01)
Seiten 853-99
Erscheinungsvermerk Korvink, J.G. [Hrsg.] MEMS : A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications Norwich, N.Y. [u.a.] : William Andrew Publ. [u.a.], 2006
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