Rapid prototyping and rapid tooling techniques for the manufacturing of silicon, polymer, metal and ceramic microdevices

; Woias, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Buchaufsatz
Publikationsjahr	2006
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 0-387-24520-0 KITopen-ID: 150065205
HGF-Programm	43.03.02 (POF I, LK 01) Größenabhängige Eigenschaften
Seiten	187-255
Erscheinungsvermerk	Leondes, C.T. [Hrsg.] MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications Vol.3: Manufacturing Methods Berlin [u.a.] : Springer, 2006