KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Rapid prototyping and rapid tooling techniques for the manufacturing of silicon, polymer, metal and ceramic microdevices

Hanemann, T.; Bauer, W.; Knitter, R.; Woias, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-387-24520-0
KITopen ID: 150065205
HGF-Programm 43.03.02; LK 01
Seiten 187-255
Erscheinungsvermerk Leondes, C.T. [Hrsg.] MEMS/NEMS : Handbook Techniques and Applications Vol.3: Manufacturing Methods Berlin [u.a.] : Springer, 2006
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page