Microfabrication in metals and polymers
Brandner, J. J.; Gietzelt, T.
; Henning, T.; Kraut, M.
; Moritz, H.; Pfleging, W.
; Henning, T.; Kraut, M.
; Moritz, H.; Pfleging, W.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 3-527-31246-3 KITopen-ID: 150065741 |
| HGF-Programm | 43.01.02 (POF I, LK 01) Strukturierung |
| Seiten | 267-319 |
| Erscheinungsvermerk | Kockmann, N. [Hrsg.] Micro Process Engineering : Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2006 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.5) |