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Microfabrication in metals and polymers

Brandner, J.J.; Gietzelt, T.; Henning, T.; Kraut, M.; Moritz, H.; Pfleging, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 3-527-31246-3
KITopen-ID: 150065741
HGF-Programm 43.01.02 (POF I, LK 01)
Seiten 267-319
Erscheinungsvermerk Kockmann, N. [Hrsg.] Micro Process Engineering : Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 2006 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.5)
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