| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2986-5 KITopen-ID: 150066316 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Seiten | 69-73 |
| Erscheinungsvermerk | Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : Zum 10-jährigen Bestehen der GMM Berlin : VDE, 2006 |