Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 3-8007-2986-5 KITopen-ID: 150066601 |
HGF-Programm | 43.01.06 (POF I, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
Erscheinungsvermerk | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe, 38(2006) S.84-86 Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : Zum 10-jährigen Bestehen der GMM Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2006 S.75-78 |