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Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik

Schlaak, H.F.; Guttmann, M.; Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2006
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 3-8007-2986-5
KITopen ID: 150066776
HGF-Programm 43.01.03; LK 01
Seiten 59-68
Erscheinungsvermerk Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : Zum 10-jährigen Bestehen der GMM Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2006
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