Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik
Schlaak, H. F.; Guttmann, M.
; Heckele, M.
; Heckele, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-8007-2986-5 KITopen-ID: 150066776 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Seiten | 59-68 |
| Erscheinungsvermerk | Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : Zum 10-jährigen Bestehen der GMM Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2006 |