| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 3-87480-222-1 KITopen-ID: 150067023 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Seiten | 377-89 |
| Erscheinungsvermerk | Suchentrunk, R. [Hrsg.] Jahrbuch Oberflächentechnik Bad Saulgau : Eugen G.Leuze Verl. Bd.62 (2006) |