Research activities in the LIGA laboratory at ANKA
Bade, K.
; Börner, M.; Jakobs, P. J.; Last, A.; Mappes, T.; Mohr, J.; Meyer, P.; Nazmov, V.; Pantenburg, F. J.; Reznikova, E.; Saile, V.; Schulz, J.
; Simon, M.
; Börner, M.; Jakobs, P. J.; Last, A.; Mappes, T.; Mohr, J.; Meyer, P.; Nazmov, V.; Pantenburg, F. J.; Reznikova, E.; Saile, V.; Schulz, J.
; Simon, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150070502 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF I, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Seiten | 125-33 |
| Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual Report 2007 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Auch auf CD-ROM |