Hot embossing of LIGA-microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-31698-4 KITopen-ID: 150074445 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Seiten | 69-102 |
| Erscheinungsvermerk | Saile, V. [Hrsg.] LIGA and its Applications Weinheim [u.a.] : Wiley VCH, 2009 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.7) |