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Design for LIGA and safe manufacturing

Gengenbach, U.; Sieber, I.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-31698-4
KITopen-ID: 150074516
HGF-Programm 43.01.04 (POF II, LK 01)
Seiten 143-88
Erscheinungsvermerk Saile, V. [Hrsg.] LIGA and its Applications Weinheim [u.a.] : Wiley VCH, 2009 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.7)
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