Exposure and development simulation for deep X-ray LIGA
Korvink, J. G.; Hafizovic, S.; Hirai, Y.; Meyer, P.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-527-31698-4 KITopen-ID: 150074992 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 103-42 |
| Erscheinungsvermerk | Saile, V. [Hrsg.] LIGA and its Applications Weinheim [u.a.] : Wiley VCH, 2009 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.7) |