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Exposure and development simulation for deep X-ray LIGA

Korvink, J.G.; Hafizovic, S.; Hirai, Y.; Meyer, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-527-31698-4
KITopen ID: 150074992
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 103-42
Erscheinungsvermerk Saile, V. [Hrsg.] LIGA and its Applications Weinheim [u.a.] : Wiley VCH, 2009 (Advanced Micro and Nanosystems ; Vol.7)
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