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Ceramics in microtechnology: status, requirements and challenges

Ritzhaupt-Kleissl, H.J.; Dorey, R.A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1904445-84-5
KITopen-ID: 150076118
HGF-Programm 43.01.03 (POF II, LK 01)
Seiten 1-22
Erscheinungsvermerk Ritzhaupt-Kleissl, H.J. [Hrsg.] Ceramics Processing in Microtechnology Dunbeath : Whittles Publ., 2009
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