Ceramics in microtechnology: status, requirements and challenges
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1904445-84-5 KITopen-ID: 150076118 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF II, LK 01) Replikation |
| Seiten | 1-22 |
| Erscheinungsvermerk | Ritzhaupt-Kleissl, H.J. [Hrsg.] Ceramics Processing in Microtechnology Dunbeath : Whittles Publ., 2009 |