Research activities in the LIGA laboratory at ANKA
Börner, M.; Bade, K.
; Badilita, V.; Burger, T.; Gosch, F.; Hahn, L.; Hengsbach, S.
; Hollenbach, U.; Kißling, S.; Klymyshyn, D. M.; Korvink, J. G.; Kratt, K.; Last, A.; Leuthold, J.; Li, J.; Meyer, P.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Reznikova, E.;
; Badilita, V.; Burger, T.; Gosch, F.; Hahn, L.; Hengsbach, S.
; Hollenbach, U.; Kißling, S.; Klymyshyn, D. M.; Korvink, J. G.; Kratt, K.; Last, A.; Leuthold, J.; Li, J.; Meyer, P.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; | Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150077228 |
| HGF-Programm | 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers. |
| Seiten | 130-44 |
| Erscheinungsvermerk | ANKA - Annual Report 2009 Karlsruhe : Karlsruhe Institute of Technology Also publ.online |