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Research activities in the LIGA laboratory at ANKA

Börner, M.; Bade, K.; Badilita, V.; Burger, T.; Gosch, F.; Hahn, L.; Hengsbach, S.; Hollenbach, U.; Kißling, S.; Klymyshyn, D. M.; Korvink, J. G.; Kratt, K.; Last, A.; Leuthold, J.; Li, J.; Meyer, P.; Mohr, J.; Nazmov, V.; Reznikova, E.; ... mehr


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 150077228
HGF-Programm 55.51.10 (POF II, LK 02) Betrieb und Entw.d.ANKA Beaml.u.Nutzers.
Seiten 130-44
Erscheinungsvermerk ANKA - Annual Report 2009 Karlsruhe : Karlsruhe Institute of Technology Also publ.online
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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