| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-642-02525-9 KITopen-ID: 150079184 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 731-62 |
| Erscheinungsvermerk | Bhushan, B. [Hrsg.] Springer Handbook of Nanotechnology 3rd rev.and extended ed. Berlin [u.a.] : Springer, 2010 Incl.DVD Also publ.online |