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Microfabrication and MEMS/NEMS

Schulz, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 150080000
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Seiten 416-30
Erscheinungsvermerk Colombo, P. [Hrsg.] Polymer Derived Ceramics : From Nano-Structure to Applications Lancaster, Pa. : DEStech Publ., 2010
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