Microfabrication and MEMS/NEMS
Schulz, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 150080000 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Seiten | 416-30 |
| Erscheinungsvermerk | Colombo, P. [Hrsg.] Polymer Derived Ceramics : From Nano-Structure to Applications Lancaster, Pa. : DEStech Publ., 2010 |