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Fertigung einer Bedampfungsmaske durch Mikrobohren und Nutzung des Elektropolierens zur Gratentfernung

Gietzelt, T.; Eichhorn, L.; Guttmann, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2010
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-87480-259-8
KITopen ID: 150081106
HGF-Programm 43.13.03; LK 01
Seiten 338-47
Erscheinungsvermerk Suchentrunk, R. [Hrsg.] Jahrbuch Oberflächentechnik Bad Saulgau : Eugen G. Leuze Verlag Bd.66 (2010)
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