Fertigung einer Bedampfungsmaske durch Mikrobohren und Nutzung des Elektropolierens zur Gratentfernung
Gietzelt, T.
; Eichhorn, L.; Guttmann, M.
; Eichhorn, L.; Guttmann, M.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-87480-259-8 urn:nbn:de:swb:90-AAA1500811065 KITopen-ID: 150081106 |
| HGF-Programm | 43.13.03 (POF II, LK 01) Micro chemical engineering |
| Seiten | 338-47 |
| Erscheinungsvermerk | Suchentrunk, R. [Hrsg.] Jahrbuch Oberflächentechnik Bad Saulgau : Eugen G. Leuze Verlag Bd.66 (2010) |