Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-8155-1545-6 KITopen-ID: 150083043 |
HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
Erscheinungsvermerk | Qin, Y. [Hrsg.] Micro-manufacturing Engineering and Technology Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 2010 (Micro and Nano Technologies Series) |