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Worgull, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-8155-1545-6
KITopen ID: 150083043
HGF-Programm 43.13.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Qin, Y. [Hrsg.] Micro-manufacturing Engineering and Technology Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 2010 (Micro and Nano Technologies Series)
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