| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-62948-231-6 KITopen-ID: 150096334 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Seiten | 193-216 |
| Erscheinungsvermerk | Parinov, I.A. [Hrsg.] Nano- and Piezoelectric Technologies, Materials and Devices Hauppauge, N.Y. : Nova Science Pubishers, 2013 (e-Book) |